Pr?zisionsteilungen - die Grundlage für hohe Genauigkeit

HEIDENHAIN-Messger?te beinhalten als wesentliche Bestandteile Ma?verk?rperungen, meist in der Form von Strichgittern mit typischen Strukturbreiten von 0,25 μm bis 10 μm. Diese Pr?zisionsteilungen werden nach von HEIDENHAIN entwickelten Verfahren (z.B. DIADUR oder AURODUR) hergestellt und sind bestimmend für die Funktion und die Genauigkeit der Messger?te. Sie bestehen aus Strichen und Lücken, deren definierte Abst?nde nur geringste Abweichungen aufweisen und deren Strukturen hohe Kantensch?rfe besitzen. Die Teilungen sind widerstandsf?hig gegen mechanische und chemische Einwirkungen und unempfindlich gegen Vibrations- und Schockbelastungen und haben ein definiertes thermisches Verhalten.

Phasengitter-TeilungenMit speziellen Herstellungsprozessen lassen sich auch dreidimensionale Gitterstrukturen herstellen, die spezielle optische Eigenschaften besitzen. Ihre Strukturbreiten liegen im Bereich von wenigen Mikrometern bis hinab zu viertel Mikrometern.
SUPRADURNach dem SUPRADUR-Verfahren hergestellte Teilungen wirken optisch wie dreidimensionale Phasengitter, besitzen aber eine planare Struktur und sind daher besonders unempfindlich gegen Verschmutzung.
MAGNODURFür feinste magnetisierte Teilungen werden magnetisch aktive, dünne Schichten im Mikrometerbereich strukturiert.
DIADURDie Teilungsstrukturen der DIADUR-Pr?zisionsteilungen werden durch eine extrem dünne Chromschicht auf einen Tr?ger - meist Glas oder Glaskeramik - realisiert, wobei die Genauigkeiten der Teilungsstrukturen im Mikrometer-Bereich und darunter liegen.
AURODURAURODUR-Teilungen bestehen aus hochreflektierenden Goldstrichen und mattge?tzten Lücken. Diese Teilungen befinden sich meist auf Stahltr?gern.
METALLURMETALLUR-Teilungen besitzen durch ihren speziellen optischen Aufbau aus reflektierenden Goldschichten eine nahezu planare Struktur. Sie sind daher besonders unempfindlich gegen Verschmutzungen.