Neue Bewegungssysteme und Messger?te aus dem HEIDENHAIN-Konzern auf der SEMICON West: Genauigkeit und Produktivit?t intelligent kombiniert

Where accuracy meets throughput – unter diesem Motto stellen HEIDENHAIN, ETEL, NUMERIK JENA und RSF Elektronik auf der SEMICON West neue L?sungen für Front-End und Back-End in der Halbleiterfertigung sowie für Elektronikanwendungen vor. Neben der hochgenauen Positionsmessung steht dabei die Integration von Antriebstechnik, Positionsmesstechnik und Steuerungstechnik zu mechatronischen Fertigungsl?sungen mit sehr hoher Produktivit?t im Fokus.

Bewegungssysteme von ETEL kombinieren absolute Positioniergenauigkeiten besser als 1 μm mit extrem hohen Beschleunigungen und exakten Bewegungen. Das gilt für die Neuentwicklung TELICA, die auf der SEMICON West ihre Premiere feiert, ebenso wie für die bew?hrten Plattformen VULCANO und CHARON 2. Einen wesentlichen Anteil zu den besonderen Eigenschaften der Bewegungssysteme steuern optische Messger?te von HEIDENHAIN bei:

? Dynamische Genauigkeit
Die geringe Interpolationsabweichung der Messger?te verbessert das Leistungsverhalten der Linearmotoren und senkt den Temperatureintrag in die Maschine – vor allem in hochdynamischen Anwendungen. Weil thermisch bedingte Abweichungen geringer ausfallen, bietet das System h?here Genauigkeit bei unver?nderter Dynamik auf h?chstem Niveau. Au?erdem f?rdern ZERODUR-Ma?st?be ohne thermische Ausdehnung die Messgenauigkeit. Geringes Rauschen und kleine Basisabweichungen von weniger als ±0,175 μm in einem 5 mm-Intervall tragen zus?tzlich zur besonderen Genauigkeit der Bewegungssysteme bei.

? Positioniergenauigkeit in Hochleistungsprozessen
Der Aufbau der Bewegungssysteme ist auf extreme Positioniergenauigkeit ausgerichtet. In enger Kooperation haben HEIDENHAIN und ETEL dafür eine spezielle L?sung zum Einbau der Messsysteme entwickelt. Dieser besondere Aufbau entkoppelt die Messger?te wirkungsvoll von einer m?glichen Erw?rmung z. B. durch den Antrieb und damit auch den Metrologiezirkel von thermisch bedingten L?ngenabweichungen.

NUMERIK JENA stellt auf der SEMICON West das offene, inkrementale L?ngenmessger?t LIKgo vor. Für den Einsatz in Fertigungs- und Prüfanlagen der Halbleiterindustrie eignet es sich unter anderem wegen seiner kompakten Abmessungen, der geringen Teilungsperiode und der sehr kleinen Messschritte. So misst der Abtastkopf nur 28 mm in der L?nge, 13 mm in der Breite und 7,5 mm in der H?he. Die Ma?verk?rperung ist nur 8 mm breit und verfügt über eine Teilungsperiode von 20 μm. Damit sind Messschritte von nur 78,125 nm erreichbar.

Für die Positionsmessung und Drehzahlregelung von Torquemotoren hat RSF Elektronik das absolute modulare Winkelmessger?t MCR 15 entwickelt. Es steht in vielen Varianten für Au?endurchmesser von 59,93 mm bis 350,23 mm und mit verschiedenen seriellen Schnittstellen zur Verfügung. Abh?ngig vom Durchmesser erreichen die MCR 15-Winkelmessger?te eine Systemgenauigkeit bis zu ±10 Winkelsekunden und Messschritte bis zu 0,038 Winkelsekunden.

HEIDENHAIN, ETEL, NUMERIK JENA und RSF Elektronik auf der SEMICON West: 9. bis 11. Juli 2019, San Francisco Moscone Center, Stand 851